На 300-мм пластине собрали квазикомплементарную пару MoS₂-nFET и WSe₂-pFET с contacted poly pitch 50 нм. Более 94% проверенных структур показали отношение Imax/Imin выше 10⁵; EUV-рисунок и перенос 2D-материалов в вольфрамовые траншеи совместили с 300-мм фабричным маршрутом. Демонстратор пока состоит из отдельных транзисторов: логическая ячейка не показана, а каналы перенесены с кристалла или малой пластины. →