1,3 В и не менее 10¹³ циклов показали 5-нм сегнетоэлектрические конденсаторы HZO на 300-мм пластине с траншейной геометрией; их 2Pr превысила 40 мкКл/см². Инженерия seed-слоя и интерфейсов помогла сформировать рабочую орторомбическую фазу при низком тепловом бюджете BEOL. Отдельно Imec продемонстрировал вертикальный IGZO-FeFET со стеком из пяти word lines: задний затвор стабилизирует стирание, а дальнейшее масштабирование потребует контроля окна памяти, disturb и разброса между уровнями. →