2D-транзисторы впервые собрали в CMOS-подобную пару на 300-мм пластине

На одной 300-мм пластине изготовлена квазикомплементарная пара из MoS₂-nFET и WSe₂-pFET с contacted poly pitch 50 нм. Критерий Imax/Imin выше 10⁵ выполнили более 94% протестированных структур, однако этот результат характеризует отдельные транзисторы, а параметры контактов и разброс по пластине ещё определят ценность маршрута. →