Микрометровый датчик перемещения из оптопары и печатных flexure

Повторяемость лучше 2 мкм получена в датчике перемещения, где чувствительный элемент собран из PETG-flexure, щупа и обычного щелевого оптопрерывателя. Перемещение превращает в аналоговый сигнал притуплённая заслонка в 3.0-мм оптической щели. Главный компромисс конструкции задают нелинейная оптическая характеристика и температурная податливость печатной механики. →